Diyarbekir bölgesi, 1515 yılı Eylül ayında Osmanlı devletine katılınca, Osmanlı devletinin en geniş ve önemli eyaletlerinden birinin beylerbeyi merkezi oldu.
Diyarbakır salnamelerinde ve Osmanlı tahrir defterinde, 1515 yılında Osmanlı topraklarına katılan Diyarbakır'ın, 35 sancakla imparatorluğun en büyük eyaleti haline geldiği kaydediliyor.
35 SANCAK VE 20 İLÇEYE SAHİPTİ
XIX. yüzyılın hemen başlarında Diyarbakır eyaletine bağlı aşağıda isimleri belirtilen kazalar ile 35 sancak yer alıyordu.
Diyarbakır eyaletine bağlı sancaklar şunlar:
''Amid, Siverek, Çermik, Meyafârikin (Silvan), Hasankeyf, Beşiri, Tercil (Hazro), Behramki, Hani, Çıska (Maden), Telbisme, Mardin, Salat (Suriye vilayeti), Birazi, Birecik, Kulp, Atak (Lice), Siirt, Savur, Eğil, Karakeçülü, Çapakçur (Bingöl), Çemişgezek, Musul-ı Atik ve Cedîd, Sağman (Tunceli), Derik, Ergani, Çüngüş, Sincar, Harput, Palu, Çarsancak (Tunceli) ve Mahal.''
Diyarbakır'a bağlı olan 35 sancağın yanı sıra 19. yüzyılın hemen başlarında, Diyarbakır Merkez Sancağı ise her biri birer ayrı adlî-idarî birim olan şu 20 kazadan oluşuyordu:
''Amid, Siverek, Mihrani (Hazro), Meyafârikin, Eğil, Beşiri, Tercil (Hazro), Çapakçur, Hani, Çıska, Telbisme, Mardin, Salat, Birazi, Mahal, Kulp, Atak, Siirt, Savur, Karakeçülü.''
